ULVAC 爱发科 干泵 ES10 ES4A 抑制干泵发热
2025-12-08 17:26:45
fujino
干泵
ES10
ES4A
抑制干泵发热作用，降低空调设备的电力消耗。
*不能用作抽排易燃、助燃、有毒性气体等的泵。
干泵的性能改进有望提高极限压力性能
可降低排气噪音
所有压力范围内，排气速度均不会下降
在1000Pa以下连续运转时间较长的用途下有非常好的效果
*可安装在即使排气口为真空也毫无问题的干泵上。
安装简单
用途
用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵
溅射设备等的loading/unloading室用的干泵
规格
| 型式 | ES10 | ES4A | |||
| 电源 | 规格 | 单相 AC100～220V 50/60Hz | 单相 AC200～220V±5% 50/60Hz | ||
| 最大功耗 | 65W *1 | 400W | |||
| 控制 | 输入 | 远程启动/停止（接点 DC24V有電圧） 接点容量2.0A以上请准备无电源接点 *2 | |||
| 输出 | 过电流报警输出(接点 无电圧) 接点容量：DC24V 1.0A | 启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 | |||
| 显示 | 运作时间显示 | 运作时间、启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 | |||
| 外观尺寸 | 本体单元 | 175mm×310mm×240mm | 250mmx475mmx373mm | ||
| 阀单元 | Φ66mm×110mm(NW40) *3 | 选项 | |||
| 质量 | 本体单元：8.3kg 阀单元：800g | 32kg | |||
| 质量 | G1/4" (INLET、OUTLET) 已安装连接器 | Φ16mm管接头( 推荐管的长度为1.5m以内) | |||
*1 干泵的使用工艺气体、吹扫气体 0Pam3/s
*2 手动启动/停止时可以通过跳转控制连接器的PIN，来ON/OFF电路保护器。
*3 ES10標配一個閥單元