ULVAC 爱发科 皮拉尼真空计 SP1
2025-12-17 17:29:53
fujino
皮拉尼真空计
SP1
特性
节省成本、节省空间的换能器型
灯丝材料使用耐腐蚀性优异铂
设置点输出2点测定器输出DC0～5V（非线性输出）
电源电压DC24V输入
用途
用于半导体、电子部件等各种制造装置的低真空区域的工艺控制
用于炉等各种工业机器的低真空领域的过程控制
用于具有多个加工室的各种制造装置的低真空区域的工艺控制
类型 传感器单元
型号 SP1
自适应测试器 WP-01, WP-02, WP-03, WP-16
测量精度
±15 %（51 Pa ～760 Pa）
±30 %（10 Pa ～1000 Pa）
±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa）
使用温度范围 10～40℃
取样时间 50ms 5每次移动平均处理
测量值输出
非线性输出：DC0-5V（Max.10V）
（更新时间）50ms
（分辨率）10mV
设置点1/2调整用输出 非线性输出：DC 0-5V（Max.10V）
控制输出信号 开路集电极、负逻辑
Error信号
设置点1/2
LED表示 电源、错误、设置点1/2
电源电压 DC24V±2V, 90mA（Max.）
输入输出连接器 D-sub-15P（M2.6 screw）
本体质量 190g（不含测量符）
配件
输入输出连接器1组
快速手册1部
IO模拟GND、电源GND没有隔离。