ULVAC 爱发科 冷阴极电离真空计 SC1
2025-12-17 17:39:52
fujino
冷阴极电离真空计
SC1
特性
测量元件和测量电路一体结构
模拟输出及设置点输出
独立的伪日志输出及设置点输出（显示单元）
48 x 96mm的，之DIN采用规格尺寸（显示单元）
用途
以半导体、电子部件为首的各种制造装置的工艺控制
以炉为首的各种产业机器的过程控制
对于具有多个加工室的各种制造装置的过程控制
规格
类型 传感器单元
型号 SC1
自适应测试器 C-21、23、24、25
测量压力范围 1.0×10-5 ～ 1.0 Pa
测量精度 ＋100%, －50%（1.0×10-4 ～ 1.0×10-1）
使用温度范围 10 ～ 40℃
测量值输出 非线性输出：DC0V ～ 10V（HV-OFF时，10V）
SETPOINT1/2调整用输出 非线性输出：DC0 ～ 10V
控制输入信号 HV ON/OFF
输出信号 开路集电极、负逻辑
控制输出信号 放电确认/设置点1/2
LED表示 力量HV、压力保护，设置点1/2
电源 DC24V±2V、150mA
输入输出连接器 D-sub-15销（M2.6螺钉）
本体质量 430g（不含测量符）
配件 输入输出连接器1组
快速手册1部