ULVAC 爱发科 校准泄漏仪 CLC-04A CLC-05A CLC-06A
2025-12-17 17:41:13
fujino
校准泄漏仪
CLC-04A
CLC-05A
CLC-06A
通过在微细的孔中导入氦气，可以得到一定的泄漏量的校正泄漏。
校正方法准备了真空法校正和斯尼弗法校正两种。
仕様
| 型式 | リーク量 | 校正方法 | 使用圧力 | ジョイント |
| CLC-04A | 10-4Pa･m3/s台 | 真空法校正 または スニッファー法校正 | ⊿P = 0.1MPa(差圧0.1MPa) | Φ18mmパイプ(Rc1/4付) |
| CLC-05A | 10-5Pa･m3/s台 | |||
| CLC-06A | 10-6Pa･m3/s台 |
※スニッファー校正品に、真空法校正を追加することも可能です