ULVAC 爱发科 VLHｰMB100CH VLHｰMB160CH 真空角阀
2025-12-17 17:41:48
fujino
VLHｰMB016CH
VLHｰMB040CH
VLHｰMB063CH
VLHｰMB100CH
VLHｰMB160CH
真空角阀
特性
SUS制角阀可以烘烤到150℃。
连接法兰JIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CF对较大场景进行渲染期间已观察到该故障。
驱动方式准备了双动式、单动式。单动式的情况下，只需一个压空线即可。
材质是不锈钢制的。（但是VLP-U是铁制的VAP、VAH、VFR是铝制的。）
规格
型号 VLH-MB
阀板容许最大差压（正压/逆压）MPa 0.10
开阀时允许最大压差（正压/逆压）MPa 0.10
阀板密封方式 〇戒指
轴密封方式 波纹管
驱动方式 手动
泄漏量（外部）*1Pam3/s ≦1.0E-10
泄漏量（内部）*1Pam3/s ≦1.0E-10
使用压力范围（绝对压力）Pa 大气压～1.0E-8
允许烘烤温度（静止时）*2℃ 主机：150*3，驱动部：70
工作环境温度℃ 5～70
使用流体温度℃ 5～70
加热及冷却速度℃/h ≦30
使用环境 非腐蚀性气氛
使用流体 非腐蚀性流体
气缸供给压力空压力MPaG 一
保修动作次数*4 10,000
运行姿势 自由
开关传感器 一
真空侧主要部件材质 SUS304
大气侧主要部件材质 SUS304,AL-6061（铝酸盐）
波纹管材质 SUS316L
密封部件材质（真空侧） 外部密封：金属
内部密封：FKM
油脂类（真空侧） 无润滑油
吊具安装部 无*5
RoHS 应对