日本ANELVA-CONON佳能 量规 MG-2I/NW16
2026-09-24 17:56:09
fujino
量规
MG-2
MG-2M
MG-2I/NW16
MG-2I/NW25
MG-2I/φ34ICF
MG-2I/φ70ICF
MG-2F
MG-2WF
可使用单个压力表进行从到达压力到溅射等工艺压力（可测量1Pa量级）的压力测量。
连接到压力表适配器（O型圈插入式）的类型。
| 形式 | MG-2 | MG-2M | MG-2I/ NW16,25 | MG-2I/ φ34ICF,φ70ICF | MG-2F | MG-2WF | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 机身材质 | SUS304 | ||||||
| 测量上限压力（注1） | 13 Pa | 1.3×10-1（注3） Pa | |||||
| 测量下限压力（注2） | 10-6 Pa台 | 10-7 Pa台 | 1.0×10-5（注4） Pa台 | ||||
| 感度 | 0.045 Pa-1 | ||||||
| 丝状物 | 内置2根发丝 发丝材质：氧化钇镀铱线 | 内置2根丝 丝材：钨 | |||||
| 测量球容积 | 约12 cc | ||||||
| 所需 电力 | 丝网 格里德·德加 | 2.3 W 1.0 W | 2.5 W 1.0 W | ||||
| 德加斯方式 | 网格通电 | ||||||
| 安装方法 | φ15号适配器或各种法兰可焊接 | φ18规格适配器 | NW25、NW16 | φ34ICF、φ70ICF | 连接φ70ICF法兰 | φ15号适配器或各种法兰可焊接 | |