OTSUKA广州代理OTSUKA 内置膜厚监控器 FE-3 大塚电子-藤野贸易（广州）有限公司

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特　長

分光干渉法を用いた膜厚計高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載（特許第4834847号）オプティカルファイバーにより自由な測定系の構築が可能各種製造装置への組み込みが可能リアルタイムでの膜厚測定が可能遠隔操作、多点測定に対応長寿命、高安定性の白色LED光源を採用

測定項目

多層膜厚解析

用　途

光学フィルム（ハードコート、ARフィルム、ITOなど） FPD関連（レジスト、SOI、SiO2など）仕　様
型式 FE-3/40C FE-3/200I 全測定方式分光干渉式測定膜厚範囲（ｎｄ値） 20 nm ～ 40 µm 3 µm ～ 200 µm 測定波長範囲 430 nm ～ 650 nm 900 nm ～ 1600 nm 膜厚精度 ± 0.2 nm 以内 *1 - 繰り返し精度 0.1 nm 以内 *2 - 測定時間 0.1 s ～ 10 s 以内スポット径約 φ 1.2 mm 光源白色LED ハロゲンオプティカルファイバー投受光用Y型ファイバー 1.5 ｍ～ 100 m 寸法、重量 300（W) × 300（D） × 150（H） mm、約 10 kg ソフトウェアピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析 *1 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の膜厚保証書記載の測定保証値範囲に対して
*2 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の同一ポイント繰り返し測定時における拡張不確かさ（包括係数2.1）

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